マイクロ・ナノレベルの微細加工は最近ますますその技術の向上・用途開発が求められています。今回のセミナーでは、東京工業大学の学内の技術部として、多くの研究室からのＭＥＭＳ加工など多様な微細加工を一手に引き受けている半導体MEMSプロセス技術センター長松谷晃宏氏にお話を頂きます。
東工大技術センターでは自由な発想や企業とは異なる視点で微細加工にトライをしています。御社の微細加工現場に役に立つ情報が得られるセミナーです。是非ご参加ください。
日 時
平成25年3月8日（金） 18:00～20:00
場 所
大田区産業プラザ（ＰiＯ） 5階 財団会議室 東京都大田区南蒲田1-20-20（京浜急行蒲田駅下車徒歩3分）案内図
講 演
東京工業大学 半導体MEMSプロセス技術センター センター長 松谷晃宏 氏
演 題
『マイクロ・ナノプロセスを利用した微細加工技術の応用』
概 要
（以下は松谷先生による講演内容です。）
サイエンスはわくわくして楽しいものです。
近々の応用を目指した成果発表的な研究も重要ですが、好奇心に満ちた研究の心を忘れてはなりません。最近は技術が細分化され、専門の井戸の中に陥りやすい状況になっていますが、守備範囲は広い方がよく、既成概念にとらわれず自由に発想することが大切なことだと思います。
今回は、半導体・MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)プロセス技術の周辺での応用事例・最近の研究動向を紹介します。半導体のプロセス技術は集積回路やメモリなどのデバイスだけではなく様々な分野で応用されています。
最新鋭の装置も原理は単純です。それぞれの特徴を生かしたプロセス技術の装置を作ってみたり改造してみたりすると、工夫次第で様々なことが可能になります。また、やり方がわかってしまえば、産業技術研究センターなどの設備を利用して、いろいろなアイデアを実現することも可能です。
本セミナーでは、マイクロ・ナノプロセスの原理から簡単な応用、学会等で報告されている最近の研究動向について、エッチング・リソグラフィ・半導体およびMEMSデバイス・材料関連・マイクロ流路・バイオ関連・表面処理などの視点からご紹介したいと思います。
本セミナーが、皆様がわくわくできるような何かのヒントになれば幸いです。
参加費
無料
お申込方法
会社名、氏名、連絡先（住所、電話番号、FAX番号、E-mailアドレス）をお書きのうえ、下記ＦＡＸまたはE-mail宛にご送付下さい。折り返し参加確認の返信をさせていただきます。
お申込用紙はこちらからダウンロードできます。
また申込みフォームからの申込みもできます。
主催
公益財団法人大田区産業振興協会
協賛
東京工業大学産学連携推進本部
お申し込み・お問い合わせ先
公益財団法人大田区産業振興協会 事業グループ 経営革新担当 木川・岸本〒144-0035東京都大田区南蒲田1丁目20-20 大田区産業プラザ2F
TEL 03(3733)6144 FAX 03(3733)6496 mail:sangaku@pio-ota.jp受付時間：月～金曜日（休祝日・年末年始を除く） 8:30～17:15
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